論文
真壁 利明
161~180件（全198件）
Transport coefficients and scattering cross-sections for plasma modeling in CF4-Ar mixtures: a swarm analysis
- 著者名
- M. Kurihara, Z. Lj. Petrovic and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Phys.D: 開始ページ2146-53 (出版年（月日）2001年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Two-dimensional modeling of a micro cell plasma in a mixture of Ne/Xe driven by a capacitively coupled high-frequency source
- 著者名
- M. Kurihara and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys. 開始ページ7756-63 (出版年（月日）2001年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Influence of gas pressure and magnetic field upon dc magnetron discharge”
- 著者名
- E. Shidoji, K. Ness and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名VACUUM 開始ページ299-306 (出版年（月日）2001年03月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
The effect of topographical local charging on the etching of deep-submicron structures in SiO_2_ as a function of aspect ratio"
- 著者名
- J. Matsui, N. Nakano, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Phys.Let. 開始ページ883-5 (出版年（月日）2001年02月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Radio-Frequency plasma modeling for low-temperature processing
- 著者名
- T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Adv.in Atomic, Molecular and Optical Physics 開始ページ127-54 (出版年（月日）2001年01月）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Modeling of radial uniformity at a wafer interface in a 2f-CCP for SiO2 etching
- 著者名
- T. Yagisawa, T. Shimada, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Vac.Sci.Technol.B 開始ページ2212-17 (出版年（月日）2005年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Effect of metastables on a sustaining mechanism in inductively coupled plasma in Ar
- 著者名
- T. Sato and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys. 開始ページ113304(3pp) (出版年（月日）2005年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Three dimensional singular images of low pressure hydrogen-ICP in E-mode
- 著者名
- Y. Miyoshi, M. Miyauchi, A. Oguni, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Trans. on Plasma Sci. 開始ページ362-3 (出版年（月日）2005年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Transport coefficients for electrons in argon in crossed electric and magnetic rf fields
- 著者名
- Z. M. Raspopovic, D. Dujko, T. Makabe, and Z. Lj. Petrovic
- 掲載誌名
- 誌名Plasma Sources Sci. Technol. 開始ページ293-300 (出版年（月日）2005年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Space- and time-resolved E-H transition in an inductively coupled plasma in Ar
- 著者名
- S. Hirao, Y. Hayashi, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Trans. Plasma Sci. 開始ページ1410-11 (出版年（月日）2008年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Diagnostics of N2 dissociation in RF plasmas by vacuum ultraviolet emission and absorption spectroscopy
- 著者名
- T. Kitajima, T. Nakano, S. Samukawa, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Plasma Sources Sci. & Technol. 開始ページ024018(7pp) (出版年（月日）2008年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
In situ measurement of plasma charging on SiO2 hole bottoms and reduction by negative charge injection during etching
- 著者名
- T. Ohmori and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Surface Science 開始ページ3696-709 (出版年（月日）2008年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
A numerical investigation of atomic oxygen density in an inductively coupled plasma in O2/Ar mixture
- 著者名
- T. Sato and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Phys.D:Appl.Phys. 開始ページ035211(6pp) (出版年（月日）2008年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Guest editorial special issue on modeling and simulation of collisional low-temperature plasmas
- 著者名
- D. J. Economou and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Trans. on Plasma Science 開始ページ1194 (出版年（月日）2007年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Numerical modeling of rf magnetron sputtering with metallic or dielectric target
- 著者名
- T. Makabe and T. Yagisawa
- 掲載誌名
- 誌名Materials Sci. Forum 開始ページ165-71 (出版年（月日）2007年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies
- 著者名
- Z.Lj.Petrovic, Z.M.Raspopovic, V.D.Stojanovic, J.V.Jovanovic, G.Malovic, T.Makabe, and J.de Urquijo
- 掲載誌名
- 誌名Appl. Surface Science 開始ページ6619-40 (出版年（月日）2007年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Measurement of amount of pattern trim and surface chemistry for organic resist etching in an inductively coupled plasma in SO2-O2 gas mixtures
- 著者名
- T. Goto and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ5297-303 (出版年（月日）2007年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Transport coefficients for electrons in mixtures of Ar and HBr
- 著者名
- O.Sasic, S.Dujko, Z.Lj.Petrovic, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ3560-5 (出版年（月日）2007年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Effects of plasma modeling on feature profile of silicon micro-electro-mechanical systems through flux ion velocity distributions in two-frequency cpapcitively coupled plasma in SF6/O2
- 著者名
- F. Hamaoka, T. Yagisawa, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ3059-65 (出版年（月日）2007年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Modeling of Si etchig under effects of plasma molding in two-frequency capacitively coupled plasma in SF6/O2 for MEMS fabrication
- 著者名
- F.Hamaoka, T.Yagisawa, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Trans. on Plasma Sci. 開始ページ1350-8 (出版年（月日）2007年10月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り