論文
真壁 利明
1~20件（全198件）
Advances in computational plasma science for low-temperature RF plasmas(APEX REVIEW)
- 著者名
- Toshiaki Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Appl. Phys. Express 開始ページ070106 (18pp) (出版年（月日）2026年07月）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Interrelation of electron diffusion tensor among position, velocity, and phase spaces in gases
- 著者名
- Toshiaki Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Plasma Sources Sci. Technol. 開始ページ015016 (8pp) (出版年（月日）2026年01月）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
Drift velocity of charged particles in gases: general relationship between drift velocities in position and velocity spaces
- 著者名
- Toshiaki Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Phys. Scr. 開始ページ035615 (8pp) (出版年（月日）2025年02月）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
Historical development of electron swarm physics based on the Boltzmann equation towards in-depth understanding of a low-temperature collisional plasma (Topical Review)
- 著者名
- T. Makabe and H. Sugawara
- 掲載誌名
- 誌名Plasma Sources Sci. Technol. 開始ページ093001 (23pp) (出版年（月日）2024年09月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Current status and new insights about the capacitively coupled electronegative plasma source: injection of energetic beam-like electrons to electrode
- 著者名
- Toshiaki Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D. 56 開始ページ045203 (17pp) (出版年（月日）2023年01月）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Review and current status: E-H mode transition in low-temperature ICP and related electron dynamics (Topical Review)
- 著者名
- Toshiaki Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Plasma Sources Sci. Technol. 開始ページ023001(16pp) (出版年（月日）2021年02月）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Sustainability of active bulk plasma with high electronegativity in capacitive high frequency plasma
- 著者名
- Toshiaki Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jap. J. Appl. Phys. 開始ページ026002(6pp) (出版年（月日）2022年02月）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Pulsed plasmas and related electron energy control for dry etching
- 著者名
- T. Makabe and Z.Lj.Petrovic
- 掲載誌名
- 誌名Physics of Ionized Gases 開始ページ305-325 (出版年（月日）1999年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
The effect of laser-induced photo-detachment in O_2_ RF discharges
- 著者名
- M.Shibata，N.Nakano and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D 開始ページ1219-24 (出版年（月日）1997年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Frequency variation of the mean energy of rf electron swarm.
- 著者名
- R.E.Robson，K.Maeda，T.Makabe and R.D.White
- 掲載誌名
- 誌名Aust.J.Phys 開始ページ335-46 (出版年（月日）1995年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Spatiotemporal characteristics determined by a relaxation continuum model of an inductively coupled plasma
- 著者名
- K.Kondo，H.Kuroda and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Appl. Phys. Lett. 開始ページ31-3 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Computer simulation of plasma etching (in Japanese)
- 著者名
- T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Plasma & Fusion Research 開始ページ15-26 (出版年（月日）1993年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Time-resolved measurement of charging on hole bottoms of SiO2 wafer exposed to plasma etching in a pulsed two- frequency capacitively coupled plasma
- 著者名
- T. Ohmori, T. K. Goto, T. Kitajima, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys.(Exp. Lett.) 開始ページL1105-08 (出版年（月日）2005年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Electron transport coefficients in O2 magnetron discharges
- 著者名
- R. D. White, K. E. Ness, R. E. Robson, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Phys.D 開始ページ997-1004 (出版年（月日）2005年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Vertically integrated computer aided design for device processing
- 著者名
- T. Makabe and K. Maeshige
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Surf.Sci 開始ページ176-200 (出版年（月日）2002年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Low pressure nonequilibrium plasma for topdown nanoprocess
- 著者名
- T. Makabe and T. Yagisawa
- 掲載誌名
- 誌名Plasma Sources Sci. Technol. 開始ページ024011(12pp) (出版年（月日）2011年04月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Increased O(1D) metastable flux with Ar and Kr diluted oxygen plasmas and improved film properties of grown SiO2 film
- 著者名
- T.Kitajima, N.Nakano, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Vac. Sci. & Technol. A 開始ページ1308-12 (出版年（月日）2008年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Two dimensional images of radiative and metastable excited state radial profiles for an inductively coupled plasma in argon
- 著者名
- H. Hirata, M. Tadokoro, N. Nakano, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Trans. on Plasma Sci. 開始ページ50-1 (出版年（月日）1999年03月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Effect of frequency on the two-dimensional structure of capacitively coupled plasma in Ar
- 著者名
- T. Kitajima, Y. Takeo, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ5928-36 (出版年（月日）1998年12月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Expression for momentum-transfer scattering in inelastic collisions in electron transport in a collisional plasma
- 著者名
- T. Makabe and R. WHITE
- 掲載誌名
- 誌名J.Phys.D: Appl.Phys. 出版社IOP 開始ページ485205(4pp) (出版年（月日）2015年11月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 有り