論文
真壁 利明
101~120件（全198件）
Recent progress and issues in low temperature plasma modeling for material processings (in Japanese)
- 著者名
- T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Oyo Buturi 開始ページ547-552 (出版年（月日）1995年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Modeling and measurement of submicron particles in RF plasmas in Ar.
- 著者名
- Y.Hosokawa，T.Kitajima, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Aust.J.Phys 開始ページ439-52 (出版年（月日）1995年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
O2 rf discharge structure in parallel plates reactor at 13.56MHz.
- 著者名
- M.Shibata，N.Nakano, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.phys 開始ページ6181-7 (出版年（月日）1995年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Study of surface charges on dielectric electrodes in a radio-frequency glow discharge
- 著者名
- S. Kakuta, T. Kamata, T.Makabe, S. Kobayashi, K. Terai, and T. Tamagawa
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys. 開始ページ985-91 (出版年（月日）1995年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Influence of driving frequency on narrow-gap reactive-ion etching in SF6
- 著者名
- N. Nakano and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D 開始ページ31-9 (出版年（月日）1995年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Radiofrequency electron swarm transport in gases
- 著者名
- K.Maeda and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名AIAA 開始ページ333-43 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Radiofrequency electron swarm transport in reactive gases and plasmas
- 著者名
- T. Makabe and K. Maeda
- 掲載誌名
- 誌名Physica Scripta 開始ページ61-9 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
A correlation between particle growth and spatiotemporal RF plasma structure
- 著者名
- T.Kamata，S.Kakuta，Y.Yamaguchi and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Plasma Sources Sci.Technol.3 開始ページ310-13 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Experimental study of very-high-frequency plasmas in H2 by spatiotemporally resolved optical emission spectroscopy
- 著者名
- S.Kakuta，T.Kitajima，Y.Okabe and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn. J. Appl. Phys. 開始ページ4335-9 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
A study of the sustaining mechanism in an inductively coupled plasma
- 著者名
- K.Kondo，H.Kuroda, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ4254-7 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Time-dependent RF swarm transport by direct numerical procedure of the Boltzmann Equation
- 著者名
- K.Maeda and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ4173-6 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Influence of Ar metastable on the discharge structure in Ar and N2 mixture in RF discharges at 13.56 MHz
- 著者名
- F.Tochikubo，Z.Lj.Petrovic，S.Kakuta，N.Nakano and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ4271-5 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Two-dimensional modeling of spatiotemporal structure of coupled plasma
- 著者名
- K. Kamimura, K. Iyanagi, N. Nakano, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ4429-35 (出版年（月日）1999年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Numerical simulation of the discharge in d.c. magnetron sputtering
- 著者名
- E. Shidoji, N. Nakano, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Thin Solid Films 開始ページ37-41 (出版年（月日）1999年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Two-dimesional CT images of two-frequency capacitively coupled plasma
- 著者名
- T. Kitajima, Y. Takeo, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Vac.Sci.Technol.A 開始ページ2510-16 (出版年（月日）1999年11月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Two-dimensional modeling of a micro- cell plasma in Xe driven by high frequency
- 著者名
- M. Kurihara and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Trans.on Plasma Sci. 開始ページ1372-8 (出版年（月日）1999年10月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Drift velocities of electrons in time varying electric fields
- 著者名
- S. Bzenic, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ6077-83 (出版年（月日）1999年10月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Prediction of the evolution of the erosion profile in a direct current magnetron discharge
- 著者名
- K. Okazawa, E. Shidoji and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys. 開始ページ2984-9 (出版年（月日）1999年09月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Dependence of driving frequency on capacitively coupled plasma in CF4
- 著者名
- S. Segawa, M. Kurihara, N. Nakano, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ4416-22 (出版年（月日）1999年07月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
A numerical study of a collision-dominated inductively coupled plasm using article-in-Cell/Monte Carlo simulation
- 著者名
- J-S. Oh and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ4423-8 (出版年（月日）1999年07月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り