論文
真壁 利明
41~60件（全198件）
Experimental determination of electron energy distribution functions in Townsend discahrges in argon
- 著者名
- T.Makabe, T.Goto, and T.Mori
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. B: Atom Molec.Phys. 開始ページ1781-8 (出版年（月日）1977年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Townsend放電域へのBoltzmann方程式の適用について
- 著者名
- T.Makabe, T.Goto, and T.Mori
- 掲載誌名
- 誌名Trans. IEE Japan 開始ページ357-64 (出版年（月日）1975年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
弱電離ガス中の電子エネルギー分布関数ならびに輸送係数のモンテカルロ・シミュレーション
- 著者名
- T.Makabe, T.Goto, and T.Mori
- 掲載誌名
- 誌名Trans. IEE Japan 開始ページ229-36 (出版年（月日）1973年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Rigorous simulation for weakly ionized gases
- 著者名
- T.Makabe, T.Goto, and T.Mori
- 掲載誌名
- 誌名IEE CP 開始ページ379-81 (出版年（月日）1972年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- 査読有無
- 有り
Spatial distribution of nonemissive metastables in a two-frequency capacitively coupled plasma in Ar by using a pair of optical emission lines
- 著者名
- T. Ohba and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Appl. Phys. Lett. 開始ページ111501(3pp) (出版年（月日）2010年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
A method for evaluations on the radiation trapping in an inductively coupled plasma in argon
- 著者名
- C. Scharwitz and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Appl. Phys. 開始ページ113304(8pp) (出版年（月日）2009年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Argon metastable state densities in inductively coupled plasma in mixtures of Ar and O2
- 著者名
- Y. Hayashi, S. Hirao, Y. Zhang, T. Gans, D. O'connell, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D: Appl. Phys. 開始ページ145206(6pp) (出版年（月日）2009年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Oxygen atom density in rare gas diluted O2 radio frequency plasma
- 著者名
- T. Kitajima, J. Nakashima, T. Nakano, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Thin Solid Films 開始ページ489-93 (出版年（月日）2006年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Rare gas metastable atom density in diluted O2 RF plasmas
- 著者名
- T. Kitajima, K. Takahashi, T. Nakano, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名IEEJ Trans. FM 開始ページ37-42 (出版年（月日）2006年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
A comparative study of an unbalanced magnetron with dielectric substrate with a conventional magnetron through the use of hybrid modeling
- 著者名
- E. Shidoji, E. Ando, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Plasma Sources Sci. Technol. 開始ページ621-6 (出版年（月日）2001年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Transport coefficients and velocity distribution function of an ion swarm in an A.C.electric field obtained from the BGK kinetic equation
- 著者名
- R.Robson and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Aust.J.Phys. 開始ページ305-14 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Simulations of rf glow discharge in SF6 by the relaxation continuum model: Physical structure and function of the narrow-gap reactive-ion etcher
- 著者名
- N.Nakano，N.Shimura，Z.Lj.Petrovic and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Phys. Rev. E 開始ページ4455-65 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
The radical transport in the narrow-gap-reactive-ion etcher in SF6 by the relaxation continuum model
- 著者名
- N.Nakano，Z.Lj.Petrovic, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ2223-30 (出版年（月日）1994年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Investigation of the ion ejection mechanisms of gallium liquid metal ion sources
- 著者名
- Y. Nakayama and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Phys.D 開始ページ1769-75 (出版年（月日）1993年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Influence of frequency，pressure and mixture ratio of electronegative gas on electrical characteristics of rf discharges in N2 - SF6 mixtures
- 著者名
- S. Kakuta, Z. Lj. Petrovic, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys. 開始ページ4923-31 (出版年（月日）1993年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Frequency dependence on the structure of RF glow discharges in Ar.
- 著者名
- S. Kakuta, T.Makabe and F. Tochikubo
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys. 開始ページ4907-14 (出版年（月日）1993年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
RF plasma for i-carbon deposition (in Japanese)
- 著者名
- T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名New Diamond 開始ページ14-9 (出版年（月日）1993年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Spatiotemporal optical emission spectroscopy of RF discharges in SF6
- 著者名
- Z. Petrovic, F. Tochikubo, S. Kakuta, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys. 開始ページ2163-72 (出版年（月日）1993年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Electron velocity distribution function in a gas in ExB fields.
- 著者名
- N. Shimura and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Phys.Lett. 開始ページ678-80 (出版年（月日）1993年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Theoretical analysis of electron velocity distributions and transport coefficients in HCl in a DC electric field.
- 著者名
- N. Shimura and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.App.Phys. 開始ページ949-54 (出版年（月日）1993年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り