論文
真壁 利明
81~100件（全198件）
Modeling of an RF glow discharge plasma
- 著者名
- K. Okazaki, T.Makabe, and Y. Yamaguchi
- 掲載誌名
- 誌名Appl. Phys. Lett. 開始ページ1742-4 (出版年（月日）1989年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
A modeling of amorphous silicon deposition in silane dc-glow dicharges
- 著者名
- Y. Yamaguchi, A. Sumiyama, R. Hattori, Y. Morokuma, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D 開始ページ505-11 (出版年（月日）1989年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Electoron transport to a substrate in a radio frequency capacitively coupled plasma by the Boltzmann equation
- 著者名
- J. Matsui, M. Shibata, N. Nakano, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Vac.Sci.Technol.A 開始ページ294-9 (出版年（月日）1998年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Time resolved optical emission spectroscopy of an inductively coupled plasma in argon and oxygen
- 著者名
- M. Tadokoro, H. Hirata, N. Nakano, Z. Lj. Petrovic, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Phys.Rev.E 開始ページR43-6 (出版年（月日）1998年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Charged particle transport in harmonically varying electric fields:Foundations and Phenomenology
- 著者名
- R.E.Robson and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Annals of Physics 開始ページ74-113 (出版年（月日）1997年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Three dimensional optical emission tomography of an inductively coupled plasma
- 著者名
- A.Okigawa, M.Tadokoro, A.Itoh, N.Nakano, Z.Lj.Ptorovic, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn. J. Appl. Phys. 開始ページ3707-3713 (出版年（月日）1997年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Two dimensional transport of submicron particles in CCP reactor
- 著者名
- R. Hashido, M. Hasebe, Y. Hosokawa, N. Nakano, Y. Yamaguchi, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn. J. Appl. Phys. 開始ページ3707-13 (出版年（月日）1997年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Diffusion tensor in electron transport in gases in a radio-frequency field
- 著者名
- K.Maeda，T.Makabe，N.Nakano，S.Bzenic，and Z.Lj.Petrovic
- 掲載誌名
- 誌名Phys. Rev. E 開始ページ5901-08 (出版年（月日）1997年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
The time resolved two-dimensional profile of a radiofrequency capacitively coupled plasma
- 著者名
- T.Kitajima，M.Izawa，N.Nakano，and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D 開始ページ1783-9 (出版年（月日）1997年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Comparative study of the characteristics between CCP and ICP by 2D-modeling / diagnostics
- 著者名
- T. Makabe and N. Nakano
- 掲載誌名
- 誌名Elec.Chem.Soc.Proc. 開始ページ1-10 (出版年（月日）1996年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Modeling of negative ion plasma (in Japanese)
- 著者名
- T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Plasma & Fusion Reseach 開始ページ1138-43 (出版年（月日）1996年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Robot assisted optical emission tomography in a CCP and ICP
- 著者名
- T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Physics of Ionized Gases 開始ページ257-68 (出版年（月日）1996年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- 査読有無
- 有り
Modeling of narrow gap reactive ion etcher by the relaxation continuum model
- 著者名
- N. Nakano and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Physics of Ionized Gases 開始ページ269-78 (出版年（月日）1996年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Effect of O2(a^1Δg) on plasma structure in oxygen rf discharges
- 著者名
- M. Shibata, N. Nakano and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Appl. Phys. 開始ページ6142-7 (出版年（月日）1996年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Diagnostics of a non-equilibrium inductively coupled plasmas in argon
- 著者名
- A. Okigawa, Z. Petrovic, M. Tadokoro, T. Makabe, N. Nakano, and A. Itoh
- 掲載誌名
- 誌名Appl. Phys. Lett. 開始ページ2644-6 (出版年（月日）1996年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Computer-assisted optical emission tomography in a radiofrequency capacitively coupled plasma
- 著者名
- K.Kitajima，M.Izawa，R.Hashido，N.Nakano，and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Appl. Phys. Lett. 開始ページ758-60 (出版年（月日）1996年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Robot assisted opotical emission tomography in an inductively coupled plasma reactor
- 著者名
- A.Okigawa，T.Makabe，T.Shibagaki，N.Nakano， Z.Lj.Petrovic，T.Kogawa，and A.Itoh
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ1890-3 (出版年（月日）1996年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Tomographic images of a plasma structure and sputtered particle in a DC magnetron discharge
- 著者名
- A.Itoh，T.Makabe， N.Shimura，and S.Tougo
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Trans. on Plasma Sci. 開始ページ109-10 (出版年（月日）1996年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Effect of surface material on spatio-temporal structure in O2 RF glow discharge
- 著者名
- M.Shibata，T.Makabe，and N.Nakano
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ6230-6 (出版年（月日）1995年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Low temperature SF6 plasma and related semiconductor processings (in Japanese)
- 著者名
- T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名IEE of Jpn. 開始ページ492-4 (出版年（月日）1995年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り