論文
真壁 利明
121~140件（全198件）
Two-dimensional self-consistent simulation of a DC magnetron discharge
- 著者名
- E. Shidoji, H. Ohtake, N. Nakano, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ2131-6 (出版年（月日）1999年04月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Two-dimensional density distribution of metastable atoms in an inductively coupled plasma in Ar
- 著者名
- M. Tadokoro, H. Hirata, N. Nakano, Z. Lj. Petrovic and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Phys.Rev.E 開始ページ7823-30 (出版年（月日）1998年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Diagnostics of an inductively coupled plasma in oxygen
- 著者名
- M. Tadokoro, A. Itoh, N. Nakano, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Trans. on Plasma Sci. 開始ページ1724-32 (出版年（月日）1998年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Nonequilibrium plasmas for material processing in microelectronics
- 著者名
- Z.Lj.Petrovic, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Advanced Materials and Processes 開始ページ47-56 (出版年（月日）1998年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
A novel sustaining mechanism in capacitively coupled radio frequency plasma in oxygen.
- 著者名
- M. Shibata, T.Makabe, and N. Nakano
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ4182-5 (出版年（月日）1998年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Phasespace modelling of a radiofrequency plasma interacting with surfaces
- 著者名
- T.Makabe, J.Matsui, and N.Nakano
- 掲載誌名
- 誌名Pure & Appl.Chem. 開始ページ1187-91 (出版年（月日）1998年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
A series of modeling of plasma etching and damage reduction: -Vertically integrated computer aided design for device precessing-
- 著者名
- T. Makabe, J. Matsui, and K. Maeshige
- 掲載誌名
- 誌名Sci.Technol.of Adv. Materials 開始ページ547-54 (出版年（月日）2001年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Effect of aspect ratio on topographic dependent charging in oxide etching
- 著者名
- J. Matsui, K. Maeshige, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Phys.D 開始ページ2950-5 (出版年（月日）2001年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Non-equillibrium plasmas in telecommunication related technologies
- 著者名
- Z. Lj. Petrovic, Z. M. Paspopovic, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名TELSIKS 開始ページ371-380 (出版年（月日）2001年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Optical emission spectroscopy of pulsed inductively coupled plasma In Ar
- 著者名
- K. Hioki, N. Itazu, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページL1183-6 (出版年（月日）2001年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Modeling and diagnostics of two-frequency pulsed ccp and related charging in the microstructure of SiO2 trench
- 著者名
- T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Tech.Phys. 開始ページ345-59 (出版年（月日）2000年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Predictive study of a plasma structure and function in reactive ion etcher driven by very high frequency: Validity of an extended two-dimensional relaxation continuum model
- 著者名
- K. Maeshige, M. Hasebe, Y. Yamaguchi and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys. 開始ページ4518-24 (出版年（月日）2000年10月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Transport coefficients and scattering cross-sections for plasma modeling in CF4-Ar mixtures: a swarm analysis
- 著者名
- M. Kurihara, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Phys.D 開始ページ2146-53 (出版年（月日）2000年09月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Electron transport in argon in crossed electric and magnetic fields
- 著者名
- K. Ness and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Phys. Rev. E 開始ページ4083-90 (出版年（月日）2000年09月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma
- 著者名
- K. Kitajima, Y. Takeo, Z. Lj. Petrovic and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Phys.Let 開始ページ489-91 (出版年（月日）2000年07月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Diffusin of electronin time- dependent E(t)×B(t) fields
- 著者名
- Z. Raspopovic, S. Sakadzic, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Phys.D 開始ページ1298-1302 (出版年（月日）2000年06月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Simulation of Magnetron Plasma
- 著者名
- T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Vac.Soc.Jpn. 開始ページ767-72 (出版年（月日）2000年05月）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Diagnostics of an inductively coupled CF4/Ar plasm
- 著者名
- K. Hioki, H. Hirata, S. Matsumura, Z. Lj. Petrovic and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Vac.Sci.Technol.A, 開始ページ864-72 (出版年（月日）2000年05月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Micro-Cell-Plasma driven by high frequency voltage source
- 著者名
- M. Kurihara and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Plasma and Fusion Research 開始ページ444-8 (出版年（月日）2000年05月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Numerical study of effects of frequency in inductively coupled plasma using Particle-in-Cell/Monte Carlo simulation
- 著者名
- J-S. Oh and T. Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys. 開始ページ1358-64 (出版年（月日）2000年03月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り