論文
真壁 利明
61~80件（全198件）
RF plasma structures and its production efficiency in the frequency range from HF to VHF.-Computational investigation-.
- 著者名
- T. Kitamura, N. Nakano, T.Makabe, and Y. Yamaguchi
- 掲載誌名
- 誌名Plasma Sources Sci. Technol 開始ページ40-5 (出版年（月日）1993年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Modeling of physical etching based on a two-dimensional velocity distributions of ions and fast neutrals by the Boltzmann equation
- 著者名
- T. Tokonami and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Appl. Phys. 開始ページ3323-9 (出版年（月日）1992年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Phase transition in DC Discharges in SiH4
- 著者名
- Y. Yamaguchi and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Jpn. J.Appl. Phys. 31 開始ページL1291-4 (出版年（月日）1992年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Modeling of reactive non-equilibrium plasmas (in Japanese)
- 著者名
- T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Oyo Buturi 開始ページ663-73 (出版年（月日）1992年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Diagnostics of DC-magnetron discharges by emission-selected CT technique
- 著者名
- S. Miyake, A. Itoh, N. Shimura, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Vac. Sci. Technol. A 開始ページ1135-9 (出版年（月日）1992年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Structure of velocity distribution functions and transport parameters of electron swarm in CH4 in a DC electric field
- 著者名
- N. Shimura and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D. 開始ページ751-60 (出版年（月日）1992年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Study of the structure in RF glow discharges in CH4 and H2 by spatiotemporal optical emission spectroscopy
- 著者名
- F. Tochikubo, T.Makabe, S. Kakuta, and A. Suzuki
- 掲載誌名
- 誌名J. Appl. Phys. 開始ページ2143-50 (出版年（月日）1992年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Modeling and diagnostics of structure in RF glow discharges in Ar at 13.56 MHz
- 著者名
- T.Makabe, N. Nakano, and Y. Yamaguchi
- 掲載誌名
- 誌名Phys. Rev. A 開始ページ2520-31 (出版年（月日）1992年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Absolute measurement of the excitation rate and density of the excited species in an RF discharge from the optical emission spectroscopy
- 著者名
- F. Tochikubo and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Meas. Sci. Technol. 開始ページ1133-7 (出版年（月日）1991年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Electron swarm in a gas discharge (in Japanese)
- 著者名
- H. Tagashira and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Trans. IEE of Japan 開始ページ131-8 (出版年（月日）1991年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Periodic behavior of electron swarm parameters in Ar in an RF Field.
- 著者名
- I. Yamanashi, N. Goto, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Trans. IEEE of Japan 開始ページ168-74 (出版年（月日）1991年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Recent progress in microscopic modeling of an RF plasma CVD
- 著者名
- T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Proc.13th Symp. Ion Sources & Ion-Assisted Technol. 開始ページ193-202 (出版年（月日）1990年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- 査読有無
- 有り
Electron kineties in RF Discharges (in Nonequilibrium processes in partially ionized gases)
- 著者名
- T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名NATO ASI.Ser.B 開始ページ467-77 (出版年（月日）1990年）
- 共著区分
- 単著
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- 査読有無
- 有り
Study of the structure in RF glow discharges in SiH4 by spatiotemporal optical emission spectroscopy.-Influence of negative ions-
- 著者名
- F. Tochikubo, A. Suzuki, S. Kakuta, Y. Terazono, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys. 開始ページ5532-9 (出版年（月日）1990年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Influence of negative ions in RF glow discharges in SiH4 at 13.56 MHz
- 著者名
- T.Makabe, F. Tochikubo, and N. Nishimura
- 掲載誌名
- 誌名Phys. Rev. A 開始ページ3674-7 (出版年（月日）1990年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Investigation of the high frequency glow discharges in Ar at 13.56 MHz by spatiotemporal optical emission spectroscopy
- 著者名
- F. Tochikubo, S. Kakuta, A. Suzuki, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D 開始ページ1184-92 (出版年（月日）1990年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Time-dependent electron swarm parameters in RF fields in CH4 and H2
- 著者名
- N. Goto and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D 開始ページ686-93 (出版年（月日）1990年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
同心円筒形DCグロー放電によるa-Si:H成膜時の基板加熱の解析
- 著者名
- Y. Yamaguchi, S. Imano, K. Matsumura, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Kagaku Kougaku Ronbunshu 開始ページ605-13 (出版年（月日）1990年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Diagnostics of high-frequency discharges in CH4 / H2 by time-and space-resolved optical emission spectroscopy
- 著者名
- T.Kokubo, F.Tochikubo, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名Appl. Phys. Lett. 開始ページ818-20 (出版年（月日）1990年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
Diagnostics of low frequency CH4+H2 discharge by optical emission spectroscopy
- 著者名
- T.Kokubo, F.Tochikubo, and T.Makabe
- 掲載誌名
- 誌名J. Phys. D 開始ページ1281-7 (出版年（月日）1989年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り