論文
松本 智
101~120件（全143件）
極低温におけるMOSFETのkink現象
- 著者名
- 松本 智，その他
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌C 開始ページ764?768 (出版年（月日）1989年11月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Role of Electron Traps on Thermal Conversion and Its Suppression for Liquid-Encapsulated Cz GaAs
- 著者名
- 松本 智，その他
- 掲載誌名
- 誌名Japan.J.Appl.Phys 巻Vol.28(号No.10) (出版年（月日）1989年10月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Growth Mechanism of Direct Writing of Si in Ar Laser CVD
- 著者名
- 松本 智，その他
- 掲載誌名
- 誌名Mat.Res.Soc.Symp. Proc 巻Vol.129(号No.9) 開始ページ189?194 (出版年（月日）1989年09月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
エキシマレーザーによるシリコンへのボロンの浅い接合
- 著者名
- 松本 智
- 掲載誌名
- 誌名電気化学および工業物理化学 巻Vol.57(号No.8) 開始ページ766?769 (出版年（月日）1989年08月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Optical Measurement of the Melt Depth During Pulsed Laser Irradiation
- 著者名
- 松本 智，その他
- 掲載誌名
- 誌名Japan.J.Appl.Phys 巻Vol.28(号No.9) 開始ページL1657?L1659 (出版年（月日）1989年07月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Effect of Melt Stoichiometry on Carrier Concentration Profiles of Si Diffusion in Undoped LEC SI-GaAs
- 著者名
- 松本 智，その他
- 掲載誌名
- 誌名J.Electrochem.Soc 巻Vol.136(号No.4) 開始ページ1165?1168 (出版年（月日）1989年04月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Deep Level Induced by Thermal Oxidation in CZn-Type Silicon
- 著者名
- 長谷川武裕，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名Japan，J.Phys.，27，1906（1988）. (出版年（月日）1988年10月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Effects of controlled As pressure anneaking on deep levels of liquid-encapsulated Czochralski GaAs single crystals
- 著者名
- 秩父重英，大久保教夫，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys.，64，3987（1988）. (出版年（月日）1988年10月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Characterization of gas-source molecular Beam epitaxial growth of strain-compensated Si1-x-yGexCy/Si(100)
- 著者名
- T. Akane, T. Ishikawa
- 掲載誌名
- 誌名, S.matsumoto Journal of Crystal Growth 開始ページ80-86(1999) (出版年（月日）1999年）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Effect of Boron on Solid Phase Epitaxy of Ge on Si(111)
- 著者名
- T.Yamamoto,K.Ezoe,K.Ishii,S.Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名International Symposium on Surface Science For Micro-and Nano Device Fabrication Nov.,1999, Tokyo (出版年（月日）1999年11月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Effect of Si3N4 films on TED, Loss and Activation of Phosphorus in CZ-Si
- 著者名
- K.Saitou,T.Takagi,S.Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名Joint International Meeting(Electrochemical Society,Oct.1999,Hawaii) (出版年（月日）1999年10月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Anomalous Photoluminescence in SOIwafers and its application to wafer characterization
- 著者名
- M.Tajima,T.Karasawa,S.Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名The 8th International Conference on Defects-Recognition,Imaging and Physics in Semiconductors, Sep.,1999,Narita (出版年（月日）1999年09月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Effect of Ti Evaporation on High Temperature Si Substrate on TiSi2
- 著者名
- K.Ezoe,T.Yamamoto,K.Ishii,S.Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名International Joint Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructure, Sep.1999,Sendai (出版年（月日）1999年09月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Phosphorus diffusion from doped polysilicon through ultrathin SiO2 films into Si substrates
- 著者名
- Y.Tsubo,S.Matsumoto,Y.Sato,E.Arai,
- 掲載誌名
- 誌名Electrochemical Society Meeting,Proceedings 開始ページ116-122 (出版年（月日）1999年05月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Initial stage of Si(111)-B surface reconstruction studied by scanning tunneling microscopy
- 著者名
- T.Yamamoto, S.Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Surf.Sci. (出版年（月日）1998年06月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Scanning tunneling microscopy study of initial growth of titanium silicide on Si(111)
- 著者名
- K.Ezoe, H.Kuriyama, S.Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Surf.Sci. (出版年（月日）1998年06月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Stress in Silicon Nitride Films and its Effect on Boron Diffusion in Silicon
- 著者名
- S.Matsumoto, K.Osada
- 掲載誌名
- 誌名Defect and Diffusion Forlum (出版年（月日）1998年04月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Low temperature growth of Si on Si(111) by gas-source MBE with rapid thermal annealing
- 著者名
- H.Okumura, T.Akane, S.Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Surf.Sci (出版年（月日）1998年04月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Fraction of Interstitialcy Component of Phosphorus and Antimony Diffusion in Silicon
- 著者名
- T.Shimizu, T.Takagi, S.Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名Jpn.J.Appl.Phys 開始ページ1184-1187（1998） (出版年（月日）1998年03月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Carbon contamination Free Ge（100） Surface Cleaning for MBE
- 著者名
- H.Okumura, T.Akane, S.Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Surf.Sci 開始ページ125-128 （1998） (出版年（月日）1998年01月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し