論文
松本 智
21~40件（全143件）
“Effect of Boron on Solid Phase Epitaxy of Ge on Si(111) surface”
- 著者名
- T. Yamamoto, K. Ezoe, K. Ishii and S. Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名, Jpn. J. Appl. Phys 開始ページ4545-4548 (出版年（月日）2000年）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
”Phosphorus Diffusion from Doped Polysilicon through Ultra-Thin SiO2 Films into Si Substrates”
- 著者名
- Y. Tsubo, K.. Saitou, S. Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名, Jpn. J. Appl. Phys 開始ページL955-957 (出版年（月日）2000年）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
“Epitaxial Growth of Pure ３０Ｓｉ Layers on a Natural Si(100) Substrate Using Enriched
- 著者名
- Y. Nakabayashi, T. Segawa, O. Hirman and S. Matsumoto, J. Murota, K. Wada and T. Abe
- 掲載誌名
- 誌名３０ＳｉH4: , Jpn. J. Appl. Phys (出版年（月日）2000年）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
“Self-Diffusion in Extrinsic Silicon Using Enriched 30Si”, )L1133-L1134.
- 著者名
- Y. Nakabayashi, T. Segawa, O. Hirman and S. Matsumoto, J. Murota, K. Wada and T. Abe:
- 掲載誌名
- 誌名Jpn. J. Appl. Phys 開始ページL181-L182 (出版年（月日）2000年）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Effect of Carbon Concentration on the Thermal Conversion of Liquid-Encapsulated Czochralski Semi-Insulating GaAs
- 著者名
- 大久保教夫，秩父重英，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Phys.Lett.，53，1054（1988）. (出版年（月日）1988年09月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Effect of Dopant Concentration on Oxidation-Induced Stacking Faults in Boron-Doped CZ Silicon
- 著者名
- 秩父重英，原田 剛，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名Japan.J.Appl.Phys.，27，L1543（1988）. (出版年（月日）1988年08月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
レーザードーピング
- 著者名
- 松本 智
- 掲載誌名
- 誌名レーザー研究 巻Vol.16(号No.8) 開始ページ498（1988） (出版年（月日）1988年08月）
- 共著区分
- 単著
- 査読有無
- 無し
Phosphorus Doping into Silicon Using ArF Excimer Laser
- 著者名
- 加藤慎一，佐伯秀雄，和田純一，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名J.Electrochem.Soc.，135，1030（1988） (出版年（月日）1988年04月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
The Effect of Fowler-Nordheim Tunneling Current Stress on Mobility in n-Channel MOSFET's
- 著者名
- 秋沢 充，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Trans.on Electron Device 巻Vol35(号No.2) 開始ページ245（1988） (出版年（月日）1988年02月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Thermal Generation of Frenkel Pair in Silicon
- 著者名
- 吉田正幸，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名Keio Science and Technology Reports 開始ページ19?25（1987） (出版年（月日）1987年）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Effect of Carbon Concentration on the Electrical Properties of LEC Semi-Insulating GaAs
- 著者名
- 秩父重英，松本 智，小保方武
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys 開始ページ4316?4318（1987） (出版年（月日）1987年11月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Arf Excimer Laser Doping of Boron into Silicon
- 著者名
- 加藤愼一，長堀 剛，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名J.Appl.Phys 開始ページ3656?3661（1987） (出版年（月日）1987年11月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
The Effect of Thermal Oxidation of Silicon on Boron Diffusion in Extrinsic Conditions
- 著者名
- 石川 豊，松本 智，新美達也
- 掲載誌名
- 誌名Japan.J.Appl.Phys.，26，1602（1987）. (出版年（月日）1987年09月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Computer simulation of impurity diffusion in semiconductor by the Monte Calro Method
- 著者名
- 秋山 彰，細居隆志，石原一郎，松本 智，新美達也
- 掲載誌名
- 誌名IEEE.Trans.CAD 開始ページ185〜190（1987） (出版年（月日）1987年03月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
シリコンの熱酸化に対する二次元解析
- 著者名
- 先名康治，大野恒夫，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名電子通信学会論文誌 開始ページ1096?1103（1986） (出版年（月日）1986年09月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
エキシマレーザーによるボロンの浅い接合の形成
- 著者名
- 加藤慎一，長堀 剛，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名レーザー研究 巻第14巻(号2) 開始ページ5?31（1986） (出版年（月日）1986年08月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Solutions of simulataneous equations for oxidation enhanced and retarded diffusions and oxidation stacking fault in silicon
- 著者名
- 吉田正幸，松本 智，石川 豊
- 掲載誌名
- 誌名Japan.J.Appl.Phys 開始ページ1031?1035（1986） (出版年（月日）1986年07月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
学部課程における半導体デバイス製作実験
- 著者名
- 岡部 豊，高橋信一，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名応用物理教育研究会会報，39（1985） (出版年（月日）1985年）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
The study on hole mobility in the inversion layer of p-channel MOSFET
- 著者名
- 金子 勝，成田 出，松本 智
- 掲載誌名
- 誌名IEEE，Electron Device Lett 開始ページ575?577（1985） (出版年（月日）1985年11月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し
Growth characteristics of oxide precipitates in heavily doped silicon crystals
- 著者名
- 松本 智，石原一郎，金子洋之，原田 博，岡部孝夫
- 掲載誌名
- 誌名Appl.Phys.Lett 開始ページ957?960（1985） (出版年（月日）1985年05月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 無し