東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻の大学院生 本田陽翔、高橋綱己 特任准教授、柳田剛 教授、慶應義塾大学大学院理工学研究科総合デザイン工学専攻の大学院生 椎木陽介、同大学理工学部電気情報工学科の石黒仁揮 教授らの研究グループは、1024個の堅牢な金属酸化物ナノ薄膜分子センサを1平方センチメートル以下の面積に集積化したセンサアレイチップを開発し、1平方センチメートル以下の領域における空気中の分子の濃度分布を可視化することに成功しました。
従来技術では難しかった、長期間安定的に動作する分子センサの高密度集積化を導電性金属酸化物電極材料設計、横型ナノ薄膜チャネル構造、およびアナログフロントエンド回路技術によって実現しました。
本センサアレイと分子センサチャネルの界面化学物性制御技術を融合することで、多種類の分子からなる分子群の分類ができるセンサの実現が期待されます。
本研究成果は、2022年1月23日(米国東部標準時)に米国科学誌「ACS Sensors」のオンライン版に掲載されました。