慶應義塾

総説・解説等

多田 宗弘

1~13件(全13件)

ナノブリッジのCu配線への埋め込み技術

著者名
阪本 利司, 多田 宗弘, 辻 幸秀, 伴野 直樹, 波田 博光, 青野 正和
掲載誌名
誌名電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 出版社一般社団法人電子情報通信学会 巻109(号133) 開始ページ69 - 終了ページ72 (出版年(月日)2009年07月)
ISSN
0913-5685

プラズマ重合法による Low-k 有機高分子膜成長技術とその応用

著者名
川原 潤, 多田 宗弘, 大竹 浩人, 原田 恵充, 田上 政由, 廣井 政幸, 木下 啓蔵, 斎藤 忍, 小野寺 貴弘, 古武 直也, 林 喜宏
掲載誌名
誌名電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 出版社一般社団法人電子情報通信学会 巻101(号430) 開始ページ25 - 終了ページ30 (出版年(月日)2001年11月)
ISSN
0913-5685

低コストと高性能を両立させた65nmノード対応多層配線技術

著者名
植木 誠, 成廣 充, 大竹 浩人, 田上 政由, 多田 宗弘, 伊藤 文則, 原田 恵充, 阿部 真理, 井上 尚也, 新井 浩一, 竹内 常雄, 齋藤 忍, 小野寺 貴弘, 古武 直也, 廣井 政幸, 関根 誠, 林 喜宏
掲載誌名
誌名電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 出版社一般社団法人電子情報通信学会 巻104(号134) 開始ページ7 - 終了ページ11 (出版年(月日)2004年06月)
ISSN
0913-5685

低誘電率有機膜を用いたCuダマシン多層配線プロセス設計とその実証

著者名
林 喜宏, 木下 啓蔵, 多田 宗弘, 宇佐美 達也, 廣井 政幸, 利根川 丘, 柴 和利, 小野寺 貴弘, 田上 政由, 川原 潤, 斎藤 忍
掲載誌名
誌名電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 出版社一般社団法人電子情報通信学会 巻100(号603) 開始ページ7 - 終了ページ14 (出版年(月日)2001年01月)
ISSN
0913-5685

低酸素Cu合金を用いた45nm世代LSI対応デュアルダマシン配線

著者名
阿部 真理, 多田 宗弘, 大竹 浩人, 古武 直也, 成広 充, 新井 浩一, 竹内 常雄, 斉藤 忍, 伊藤 文則, 山本 博規, 田上 政由, 小田 典明, 関根 誠, 林 喜宏
掲載誌名
誌名電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 出版社一般社団法人電子情報通信学会 巻105(号598) 開始ページ37 - 終了ページ42 (出版年(月日)2006年02月)
ISSN
0913-5685

依頼講演 原子スイッチFPGAの高密度化とスケーラビリティ (集積回路)

著者名
辻 幸秀, 白 旭, 森岡 あゆ香, 宮村 信, 根橋 竜介, 阪本 利司, 多田 宗弘, 伴野 直樹, 岡本 浩一郎, 井口 憲幸, 波田 博光, 杉林 直彦
掲載誌名
誌名電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 出版社電子情報通信学会 巻117(号9) 開始ページ73 - 終了ページ78 (出版年(月日)2017年04月)
ISSN
0913-5685

依頼講演 高耐熱ポリマー固体電解質(TT-PSE)を用いた不揮発プログラマブルロジック向け高信頼性Cu原子スイッチ (集積回路)

著者名
岡本 浩一郎, 多田 宗弘, 伴野 直樹, 井口 憲幸, 波田 博光, 阪本 利司, 宮村 信, 辻 幸秀, 根橋 竜介, 森岡 あゆ香, 白 旭, 杉林 直彦
掲載誌名
誌名電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 出版社電子情報通信学会 巻117(号9) 開始ページ67 - 終了ページ72 (出版年(月日)2017年04月)
ISSN
0913-5685

EB直描を用いた先端デバイスの試作

著者名
田村 貴央, 多田 宗弘, 藤井 清, 林 喜宏
掲載誌名
誌名電気学会研究会資料. LAV, 光応用・視覚研究会 巻2003(号1) 開始ページ1 - 終了ページ5 (出版年(月日)2003年11月)

NanoBridge技術を用いた超低消費電力LSI (特集 IoTの全て) -- (IoTを支える技術)

著者名
阪本 利司, 宮村 信, 多田 宗弘
掲載誌名
誌名電子情報通信学会誌 = The journal of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers 出版社電子情報通信学会 巻102(号5) 開始ページ408 - 終了ページ412 (出版年(月日)2019年05月)
ISSN
0913-5693

Split-electrodeによる原子スイッチのSet電圧ばらつきの改善

著者名
伴野 直樹, 岡本 浩一郎, 沼田 秀昭, 井口 憲幸, 阪本 利司, 多田 宗弘
掲載誌名
誌名応用物理学会学術講演会講演予稿集 出版社公益社団法人 応用物理学会 開始ページ2721 - 終了ページ2721 (出版年(月日)2020年02月)

C-12-2 Evaluation of Temperature Effect on Leakage Current in NanoBridge-based FPGA

著者名
白 旭, 阪本 利司, 辻 幸秀, 森岡 あゆ香, 宮村 信, 多田 宗弘, 伴野 直樹, 岡本 浩一郎, 井口 憲幸, 波田 博光, 杉林 直彦
掲載誌名
誌名電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 出版社一般社団法人電子情報通信学会 巻2015(号2) 開始ページ42 - 終了ページ42 (出版年(月日)2015年08月)

「第4回応用物理学会シリコンテクノロジー分科会論文賞受賞記念講演」原子移動型スイッチの低電圧化と信頼性の改善

著者名
多田 宗弘, 阪本 利司, 宮村 信, 伴野 直樹, 岡本 浩一郎, 井口 憲幸, 波田 博光
掲載誌名
誌名応用物理学会学術講演会講演予稿集 出版社公益社団法人 応用物理学会 開始ページ2744 - 終了ページ2744 (出版年(月日)2013年03月)

NanoBridge-FPGAによるIoTデバイスの低電力・高性能化

著者名
阪本 利司, 宮村 信, 白 旭, 杉林 直彦, 多田 宗弘
掲載誌名
誌名NEC技報 = NEC technical journal 出版社日本電気 巻71(号1) 開始ページ97 - 終了ページ102 (出版年(月日)2018年09月)
ISSN
0285-4139