論文
松本 佳宣
61~80件（全86件）
An Integrated Three-Axis Accelerometer Using CMOS Compatible Stress Sensitive Differential Amplifiers.
- 著者名
- H. Takao, Y. Matsumoto, M. Ishida
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Transactions on Electron Devices 巻46(号1) 開始ページ109-116 (出版年（月日）1999年02月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
Novel prevention method ofStiction using silicon anodization for SOI structure
- 著者名
- Y.Matsumoto, T.Shimada, M.Ishida
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and Actuators A 開始ページ153-159 (出版年（月日）1999年01月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
The novel deposition technique of fluorocarbon films and its applications for bulk and surface micromachining devices
- 著者名
- Y.Matsumoto, K.Yoshida, M.Ishida
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and ActuatorsA 開始ページ308-314 (出版年（月日）1998年04月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
Stress-sensitive differentialamplifiers using piezoresistiveeffects of p-MOSFET and theirapplication to three-axial accelerometers
- 著者名
- H.Takao, Y.Matsumoto, M.Ishida
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and ActuatorsA 巻165(号1) 開始ページ61-68 (出版年（月日）1998年01月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
感度とオフセット補償可能なPLL方式容量検出CMOSICの試作
- 著者名
- 松本 佳宣、松浦みほ、D.G.Ranjith, 石田誠
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌E 出版社電気学会 巻117(号11) 開始ページ571-575 (出版年（月日）1997年11月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
SDB-SOIウェハを用いたセンサ用高温CMOS集積回路の試作
- 著者名
- 松本 佳宣、北山康夫、河村彰久、石田誠
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌E 出版社電気学会 巻117(号7) 開始ページ377-383 (出版年（月日）1997年07月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
Three dimensional polysilicon type accelerometer using ploy-Si/SiO2/Si/SiO2/Si structure
- 著者名
- K.Kwon, Y.Matsumoto, M.Ishida, S.Park
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌E 出版社電気学会 巻117(号7) 開始ページ384-390 (出版年（月日）1997年07月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
SDB-SOIウェハを用いたセンサ用高温CMOS集積回路の試作
- 著者名
- 松本佳宣、北山康夫、河村彰久、石田 誠
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 E 巻117巻(号7号) 開始ページ377-383 (出版年（月日）1997年07月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
A planar fluxgate magnetic sensor for no-chip integration
- 著者名
- S.O.Choi, S.Kawahiti, K.Takahashi, Y.Matsumoto, M.Ishida, Y.Tadokoro
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and Materials 巻9(号4) 開始ページ241-252 (出版年（月日）1997年04月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
Analysis and design consideration of three dimentional vector accelerometer using SO strncture for high temperature range
- 著者名
- H.Takao, Y.Matsumoto, H.Seo, M.Ishida, T.Nakamura
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and Actuators A 開始ページ91-97 (出版年（月日）1996年12月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
SOI構造を用いた高温用磁気センサ
- 著者名
- 松本 佳宣、河合宏一、寺田忠志、川人祥二石田誠、中村哲郎
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 出版社電気学会 巻E116(号8) 開始ページ317-324 (出版年（月日）1996年08月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
An integrated micro fluxgatemagnetic sensor
- 著者名
- S.O.Choi, S.Kawahito, .Matsumoto, Y, M.Ishida, Y.Tadokoro
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and ActuatorsA 開始ページ121-126 (出版年（月日）1996年06月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
Three-dimensional vector accelerometer using SOI structure for high temperature use
- 著者名
- H.Takao, Y.Matsumoto, M.Ishida,T.Nakamura, H.Tanaka, H.Seo
- 掲載誌名
- 誌名Electronics and Communications in Japan,Part2 巻79(号3) 開始ページ61-72 (出版年（月日）1996年03月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
A capacitive accelerometer usingSDB-SOIstructure
- 著者名
- Y.Matsumoto, M.Iwakiri, H.Tanaka, M.Ishida, T.Nakamura
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and ActuatorsA 開始ページ267-272 (出版年（月日）1996年02月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
An integrated MOS magnetic sensor with Chopper-stabilizedamplifier
- 著者名
- S.Kawahito, K.Hayama, Y.Matsumoto, M.Ishida, Y.Tadokoro
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and Materials 巻8(号1) 開始ページ1-12 (出版年（月日）1996年01月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
教育用NMOS集積回路の製作と評価
- 著者名
- 松本 佳宣、足木光昭、石田誠、中村哲郎
- 掲載誌名
- 誌名電子情報通信学会論文誌、C-2 出版社電子情報通信学会 巻J78-C-2(号12) 開始ページ1911-1918 (出版年（月日）1995年12月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
SIO構造を用いた高温用3次元加速度ベクトルセンサ
- 著者名
- 高尾英邦、松本 佳宣、田中秀一、徐煕敦、石田誠、中村哲郎
- 掲載誌名
- 誌名電子情報通信学会論文誌、C-2 巻J78-C-2(号10) 開始ページ451-461 (出版年（月日）1995年10月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
Design consideration for siliconrectangular diaphragm pressure sensor with single-element four-terminal strain gauge
- 著者名
- Y.T.Lee, H.D.Seo, R.Takano, Y.Mastumoto, M.Ishida, T.Nakamura
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and Materials 巻7(号1) 開始ページ53-63 (出版年（月日）1995年01月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
Integratd silicon capacitive accelerometer with PLL servo technique
- 著者名
- Y.Matsumoto, M.Esashi
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and ActuatorsA 巻39(号3) 開始ページ209-217 (出版年（月日）1993年03月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
An integrared capacitive absolute pressure sensor
- 著者名
- Y.Matsumoto, M.Esashi
- 掲載誌名
- 誌名Electronics and Communications in JapanPart2 巻76(号1) 開始ページ93-106 (出版年（月日）1993年01月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し