論文
松本 佳宣
41~60件（全86件）
傾斜回転による三次元加工法
- 著者名
- 花井 計，中原 崇，鈴木慎也，松本佳宣
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 E 巻126(号6) 開始ページ222-227 (出版年（月日）2006年06月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 無し
Fabrication of Three Dimensional Structures by Image-Processing Technique
- 著者名
- Kei Hanai, Takashi Nakahara, Sayaka Shimizu, Yoshinori Matsumoto
- 掲載誌名
- 誌名Sensor and Materials 巻18(号1) 開始ページ49-61 (出版年（月日）2006年01月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 有り
Magnetic mesa structures fabricated by reactive ion etching with CO/NH3/Xe plasma chemistry for an all-silicon quantum computer
- 著者名
- Dong F. Wang, A. Takahashi, Y. Matsumoto, K.M. Itoh, Y. Yamamoto, T. Ono and M. Esashi
- 掲載誌名
- 誌名Nanotechnology 16 開始ページ990-994 (出版年（月日）2005年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 有り
バイナリオプティクスによるネガ型レジストの三次元形状
- 著者名
- 花井 計，清水 さやか，松本佳宣
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 E 巻125(号10) 開始ページ424-425 (出版年（月日）2005年10月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
高アスペクト比立体形状への配線パターン露光法の開発
- 著者名
- 花井 計，田村 喜朗，松本佳宣
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 E 巻125(号6) 開始ページ280-281 (出版年（月日）2005年06月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 有り
グレイスケールリソグラフィと構造体転写を用いた感光材料と樹脂材料の微細３次元加工
- 著者名
- 森 涼太郎、花井 計、松本 佳宣
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 E 巻124(号10) 開始ページ359-363 (出版年（月日）2004年10月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
短距離通信用CMOS集積化光受信器の開発
- 著者名
- 桑原 啓、松本 佳宣
- 掲載誌名
- 誌名電子情報通信学会論文誌 巻J87-C(号4) 開始ページ396-403 (出版年（月日）2004年04月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 査読有無
- 有り
微小クロムパターンを用いたグレイスケールリソグラフィーの研究
- 著者名
- 花井 計、松本 佳宣
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 E 巻123(号10) 開始ページ410-415 (出版年（月日）2003年10月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 有り
無電解めっき法によるガラス貫通配線の形成
- 著者名
- 中丸 文雄、松本 佳宣
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 E 巻123(号８) 開始ページ313-314 (出版年（月日）2003年08月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 有り
Damage Free Dicing Method for MEMS Devices
- 著者名
- Y. Matsumoto ,Y. Awatani, K. Kato
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 E 巻123(号7) 開始ページ255-256 (出版年（月日）2003年07月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 有り
Novel high efficiency concentrator for optical fiber communication
- 著者名
- F. Nakamaru, Y. Matsumoto, A. Nakazono
- 掲載誌名
- 誌名IEEE Photonics Technology Letters 巻14(号7, July) 開始ページ953-955 (出版年（月日）2002年）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
グレイスケールマスクを用いたガラスの三次元微細加工技術
- 著者名
- 鹿又 学、松本 佳宣
- 掲載誌名
- 誌名電気学会論文誌 E 出版社電気学会 巻122(号１１) 開始ページ531-536 (出版年（月日）2002年11月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
High efficiency optical coupler for a small photo acceptance area photodiode used in the high speed plastic optical fiber communication
- 著者名
- Y. Matsumoto, A. Nakazono, T. Kitahara, Y. Koike
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and Actuators A 開始ページ318-322 (出版年（月日）2002年08月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
Novel high efficiency concentrator for optical fiber communication
- 著者名
- F. Nakamaru, Y. Matsumoto, A. Nakazono
- 掲載誌名
- 誌名The 2001 International Conference on Optical MEMS 2001, 開始ページ125-126 (出版年（月日）2001年09月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 有り
Small and high-sensitive three axis SOI capacitive accelerometer
- 著者名
- Y.Yamaguchi, F.Katsumata, M.Nishimura, Y.Matsumoto, M.Ishida
- 掲載誌名
- 誌名The Transaction of IEEE Japan 巻121-E(号7, July) 開始ページ362-366 (出版年（月日）2001年07月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
グレイスケールマスク製作法とそれを用いた３次元微細加工法
- 掲載誌名
- 誌名慶應義塾大学 知的資産センター (出版年（月日）2001年07月）
- 共著区分
- 単著
- 査読有無
- 無し
Novel optical transceiver with compound parabolic concentrator for graded index plastic opticalfiber
- 著者名
- Y. Matsumoto, A. Nakazono, T. Kitahara, Y. Koike
- 掲載誌名
- 誌名The 2001 International Conference on Solid-State Sensor and Actuators 開始ページ202-205 (出版年（月日）2001年06月）
- 共著区分
- 共著
- 査読有無
- 有り
Development and evaluation of capacitance detection ASIC for three-axis capacitive accelerometer
- 著者名
- Y. Matsumoto, S. Kawahito, M.Ishida
- 掲載誌名
- 誌名The Transaction of IEEE Japan 巻121-E,(号3, March) 開始ページ135-141 (出版年（月日）2001年03月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
The property of plasma polymerized fluorocarbon film in relation to CH4/C4F8 ratio and substrate temperature
- 著者名
- Y. Matsumoto, M. Ishida
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and Actuators A 開始ページ179-185 (出版年（月日）2000年05月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し
Three-axis SOI capacitive accelerometer with PLL C-Vconverter
- 著者名
- Y.Matsumoto, M.Nishimura, M.Matsuura,M.Ishida
- 掲載誌名
- 誌名Sensors and Actuators A 開始ページ77-85 (出版年（月日）1999年05月）
- 共著区分
- 共著
- 掲載種別
- 研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
- 査読有無
- 無し