慶應義塾

研究発表

松本 智

1~14件(全14件)

「安定同位体30Siを用いた外因性Si中におけるSi自己拡散」

講演者
中林 幸雄、Hirman、瀬川 徹、斎藤 数正、松本 智、室田 淳一、和田 一実、阿部 孝夫、
会議名
[会議区分国内会議] 会議名応用物理学会 開催年月日2001.03 - 2001.03
発表形態
国内会議
会議種別
口頭発表(一般)

「CZ-Si中におけるPの過渡増速拡散、損失に及ぼす窒化膜偏析の影響」

講演者
斎藤 数正、藤原 尚樹、中林 幸雄、Hirman.豊永 一成、松本 智、佐藤 芳之
会議名
[会議区分国内会議] 会議名応用物理学会 開催年月日2001.03 - 2001.03
発表形態
国内会議
会議種別
口頭発表(一般)

「Si(100)上へのBPのエピタキシャル薄膜の選択成長」

講演者
花本 英俊、西村 鈴香、寺嶋 一高、松本智
会議名
[会議区分国内会議] 会議名応用物理学会 開催年月日2001.03 - 2001.03
発表形態
国内会議
会議種別
口頭発表(一般)

「ボロン再構成表面/SiにおけるGe量子ドットの形成」

講演者
永井 秀明、森 裕俊、柳川 知明、松本 智
会議名
[会議区分国内会議] 会議名応用物理学会 開催年月日2001.03 - 2001.03
発表形態
国内会議
会議種別
口頭発表(一般)

「GS-MBEの選択成長を用いたc-Si/SiO2低次元構造の作成」

講演者
瀬川 徹、松本 智
会議名
[会議区分国内会議] 会議名電子情報通信学会 開催年月日2001.02 - 2001.02
発表形態
国内会議
会議種別
口頭発表(一般)

“Epitaxial Growth of Pure 30Si Layers on a Natural Si(100) Substrate Using Enriched 30SiH4”,

講演者
Y. Nakabayashi, T. Segawa, O. Hirman and S. Matsumoto, J. Murota, K. Wada and T. Abe
会議名
[会議区分国際会議] 開催年月日2001.01 - 2001.01
発表形態
国際会議
会議種別
口頭発表(一般)

“Self-Diffusion in Extrinsic Silicon Using Enriched 30Si”,

講演者
Y. Nakabayashi, T. Segawa, O. Hirman and S. Matsumoto, J. Murota, K. Wada and T. Abe:
会議名
[会議区分国際会議] 開催年月日2000.11 - 2000.11
発表形態
国際会議
会議種別
口頭発表(一般)

“Future Silicon Substrates”

講演者
S. Nishimura, K. Terashima and S. Matsumoto
会議名
[会議区分国際会議] 開催年月日2000.11 - 2000.11
発表形態
国際会議
会議種別
口頭発表(一般)

「濃縮30SiH4を用いたGS-MBEによる30Siの成長」

講演者
中林 幸雄、瀬川 徹、Hirman、斎藤 数正、松本 智
会議名
[会議区分国内会議] 会議名応用物理学会 開催年月日2000.09 - 2000.09
発表形態
国内会議
会議種別
口頭発表(一般)

「Si 融液の粘性?B添加の影響」

講演者
西村 鈴香、寺嶋 一高、松本 智
会議名
[会議区分国内会議] 会議名応用物理学会 開催年月日2000.09 - 2000.09
発表形態
国内会議
会議種別
口頭発表(一般)

「Si 基板へのc-GaNエピタキシャル膜の成長」

講演者
西村 鈴香、寺嶋 一高、松本 智
会議名
[会議区分国内会議] 会議名応用物理学会 開催年月日2000.09 - 2000.09
発表形態
国内会議
会議種別
口頭発表(一般)

“Fabrication of boron delta-doped structures in Si by solid-phase epitaxy”,

講演者
T. Ishikawa, H. Nagai, K. Ishii and S. Matsumoto,
会議名
[会議区分国際会議] 開催年月日2000.09 - 2000.09
発表形態
国際会議
会議種別
口頭発表(一般)

「濃縮30SiH4を用いたGS-MBEによる30Siの成長」

講演者
中林 幸雄、瀬川 徹、Hirman、斎藤 数正、松本 智
会議名
[会議区分国内会議] 会議名応用物理学会 開催年月日2000.09 - 2000.09
発表形態
国内会議

“Initial Growth of Titanium Germanosilicide on Ge/Si(111)”, , 2000)

講演者
T. Yanagawa, H. Nagai, H. Mori and S. Matsumoto
会議名
[会議区分国際会議] 開催年月日2000.07 - 2000.07
発表形態
国際会議
会議種別
口頭発表(一般)