研究発表
中野 誠彦
141~160件（全179件）
Two Dimensional Modeling of Ar RF ICP by RCT Model
- 講演者
- Katsumi Iyanagi, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.10 - 1997.10
- 主催
- (6-9 October 1997, Madison, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Electron Transport to a Substrate in an rf Capacitively Coupled Plasma by the Boltzmann Equation
- 講演者
- Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.10 - 1997.10
- 主催
- (6-9 October 1997, Madison, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Two-D Emission profile of parallel plate RF plasma -Effect of driving frequency-
- 講演者
- Takeshi Kitajima, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.10 - 1997.10
- 主催
- (6-9 October 1997, Madison, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Electron Transport in CF4 by using DNP of the Boltzmann equation
- 講演者
- Masaru Kurihara, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.10 - 1997.10
- 主催
- (6-9 October 1997, Madison, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Nonvolatile Particle Transport from Etched Surface in 2-D CCP Modeling
- 講演者
- Masao Hasebe, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.10 - 1997.10
- 主催
- (6-9 October 1997, Madison, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Plasma Characteristics of Two-Frequency-Operated-Plasma in Ar by Two-Dimensional Modeling
- 講演者
- Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.10 - 1997.10
- 主催
- (6-9 October 1997, Madison, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Phase-space modeling of electrons interacting with surface in reactive ion etcher
- 講演者
- Toshiaki Makabe, Jun Matsui, and Nobuhiko Nakano
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.07 - 1997.07
- 主催
- (10-12 July 1997, Sendai, Japan)
- 発表形態
- 国際会議
Two dimensional modeling of a two frequency driven plasma in Ar
- 講演者
- Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.07 - 1997.07
- 主催
- (10-12 July 1997, Sendai, Japan)
- 発表形態
- 国際会議
Space- and Time- Resolved 3-D Profile of Inductively Coupled Plasma in O2
- 講演者
- Masahiro Tadokoro, Nobuhiko Nakano, Zoran Lj. Petrovi'c, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.05 - 1997.05
- 主催
- (4-9 May 1997, Montreal, Canada)
- 発表形態
- 国際会議
Electron transport to a substrate in an rf capacitively coupled plasma for etching by the Boltzmann Equation
- 講演者
- Toshiaki Makabe, Jun Matsui,Nobuhiko Nakano
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.01 - 1997.01
- 主催
- (26-27 Jan 1997, Shirahama, Japan)
- 発表形態
- 国際会議
Three dimensional optical emission tomography of an inductively couples plasma
- 講演者
- Akifumi Okigawa, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.01 - 1997.01
- 主催
- (21-24 Jan 1997, Nara, Japan)
- 発表形態
- 国際会議
2D optical emission spectroscopy in 100MHz capacitively couples plasma
- 講演者
- Takeshi Kitajima, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.01 - 1997.01
- 主催
- (21-24 Jan 1997, Nara, Japan)
- 発表形態
- 国際会議
A 2D Dust particle distribution in CCP reactor
- 講演者
- Ryuichi Hashido, Masao Hasebe, Yoshiyuki Hosokawa, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe, and Masayuki Hachiya
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.01 - 1997.01
- 主催
- (21-24 Jan 1997, Nara, Japan)
- 発表形態
- 国際会議
Two dimensional modeling of high density inductively coupled plasma sources in Ar
- 講演者
- Katsumi Iyanagi, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.01 - 1997.01
- 主催
- (21-24 Jan 1997, Nara, Japan)
- 発表形態
- 国際会議
Two dimensional modeling of a capacitively coupled plasma by two frequency operation
- 講演者
- Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe, and Masayuki Hachiya
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.01 - 1997.01
- 主催
- (21-24 Jan 1997, Nara, Japan)
- 発表形態
- 国際会議
Comparative study of the characteristics between CCP and ICP by 2D-modeling/ diagnostics
- 講演者
- Toshiaki Makabe, and Nobuhiko Nakano
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1996 - 1996
- 発表形態
- 国際会議
'Modeling of narrow gap reactive ion etcher by the relaxation continuum model'
- 講演者
- N.Nakano and T.Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1996.12 - 1996.12
- 招待有無
- 無し
- 発表形態
- 国際会議
- 記述原語
- 英語
- 会議種別
- 口頭発表（招待・特別）
Influence of magnetic field on the structure in ICP(-Modeling and CT measurement-)
- 講演者
- Toshiaki Makabe, Katsumi Iyanagi, Akifumi Okigawa, and Nobuhiko Nakano
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1996.10 - 1996.10
- 主催
- (20-24 October 1996, Argonne, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Three dimensional optical emission tomography of inductively coupled plasma in Ar
- 講演者
- Akifumi Okigawa, Masahiro Tadokoro, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1996.10 - 1996.10
- 主催
- (20-24 October 1996, Argonne, USA)
- 発表形態
- 国際会議
A two dimensional modeling of capacitively coupled plasma reactor
- 講演者
- Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1996.10 - 1996.10
- 主催
- (20-24 October 1996, Argonne, USA)
- 発表形態
- 国際会議