研究発表
中野 誠彦
121~140件（全179件）
Three dimensional profiles of a pulsed inductively coupled plasma in Ar and CF_4/Ar
- 講演者
- K. Hioki, N. Itazu, N. Nakano, T. Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1999.10 - 1999.10
- 発表形態
- 国際会議
- 記述原語
- 英語
- 会議種別
- ポスター発表
Effect of electron and ion transport on the charge build-up of a microscopic structure exposed to plasma
- 講演者
- J. Matsui,T. Makabe, N. Nakano
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1999.10 - 1999.10
- 発表形態
- 国際会議
- 記述原語
- 英語
- 会議種別
- 口頭発表（一般）
Simulation of Time Modulated Dual Frequency Capacitively-Coupled Plasmas
- 講演者
- Nobuhiko Nakano, T. Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1999.10 - 1999.10
- 発表形態
- 国際会議
- 記述原語
- 英語
- 会議種別
- 口頭発表（一般）
Modeling of time modulated dual frequency capacitively coupled plasma
- 講演者
- Nobuhiko Nakano and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1999.08.02 - 1999.08.02
- 発表形態
- 国際会議
- 会議種別
- 口頭発表（一般）
2D images of two frequency capacitively coupled plasmas at VHF
- 講演者
- T. Kitajima, Y. Takeo, N. Nakano, T. Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.10 - 1998.10
- 主催
- (19-22 October 1998, Maui, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Two dimensional profiles of a pulsed capacitively coupled plasma
- 講演者
- Y. Takeo, T. Kitajima, N. Nakano, T. Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.10 - 1998.10
- 主催
- (19-22 October 1998, Maui, USA)
- 発表形態
- 国際会議
2D Selfconsistent Simulation of a DC magnetron Discharge and Its Target Erosion Profile
- 講演者
- K. Okazawa, N. Nakano, T. Makabe, E. Shidoji
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.10 - 1998.10
- 主催
- (19-22 October 1998, Maui, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Three dimensional Space-resolved optical-emission spectroscopy in an inductively coupled CF4/Ar plasma
- 講演者
- H. Hirata, K. Hioki, N. Nakano,Z. Petrovi'c, T. Makabe, S. Matsumura
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.10 - 1998.10
- 主催
- (19-22 October 1998, Maui, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Effect of electron and ion transport on the charge build-up of the microscopic structure in CCP etcher
- 講演者
- J. Matsui, N. Nakano, T. Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.10 - 1998.10
- 主催
- (19-22 October 1998, Maui, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Influence of a low frequency bias voltage on a wafer in inductively coupled plasma
- 講演者
- H. Kobayashi, N. Nakano, T. Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.10 - 1998.10
- 主催
- (19-22 October 1998, Maui, USA)
- 発表形態
- 国際会議
RF plasma characteristics in a micro-cell in Xe by using RCT model
- 講演者
- M. Kurihara, N. Nakano, T. Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.10 - 1998.10
- 主催
- (19-22 October 1998, Maui, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Dependence of driving frequency on capacitively coupled plasma in CF4
- 講演者
- S.Segawa, M.Kurihara, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.10 - 1998.10
- 主催
- (19-22 October 1998, Maui, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Toward Charging Free Plasma Processes: phase space modeling between pulsed plasma and microtrench
- 講演者
- Toshiaki Makabe, Jun Matsui, Mari Shibata, Nobuhiko Nakano
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.06 - 1998.06
- 主催
- (4-5 June 1998, Honolulu, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Electron and Ion Transport in a charged micro-trench
- 講演者
- Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1998.05 - 1998.05
- 主催
- (3-8 May 1998, San Diego, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Effect of pulse modulated plasma on a charge build-up of the microscopic structure
- 講演者
- Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.11 - 1997.11
- 主催
- (11-13 November 1997, Tokyo, Japan), The Institute of Electrical Engineers of Japan, (1997)85-90
- 発表形態
- 国際会議
Modeling of two frequency capacitively-coupled plasma in Ar/CF4 gas mixture
- 講演者
- Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.11 - 1997.11
- 主催
- (11-13 November 1997, Tokyo, Japan), The Institute of Electrical Engineers of Japan, (1997)223-228
- 発表形態
- 国際会議
Effect of pulsed plasma in reactive ion etcher
- 講演者
- Mari Shibata, Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe, and Moritaka Nakamura
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.11 - 1997.11
- 主催
- (12-14 November 1997, Tokyo, Japan), The Institute of Electrical Engineers of Japan, (1997)77-82
- 発表形態
- 国際会議
Topographic Charging Model in an rf Capacitively Coupled Plasma by the Boltzmann Equation
- 講演者
- Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, Mari Shibata, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.10 - 1997.10
- 主催
- (20-24 Oct 1997, San Jose, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Solving 'Topographic Dependent Charging' by a Pulsed Plasma
- 講演者
- Mari Shibata, Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.10 - 1997.10
- 主催
- (20-24 Oct 1997, San Jose, USA)
- 発表形態
- 国際会議
Two Dimensional Modeling of Two-Frequency-Operated-Plasma in Ar by Relaxation Continuum Model
- 講演者
- Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe
- 会議名
- [会議区分国際会議] 開催年月日1997.10 - 1997.10
- 主催
- (20-24 Oct 1997, San Jose, USA)
- 発表形態
- 国際会議