慶應義塾
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単結晶シリコンのダイヤモンド切削に及ぼす工具摩耗の影響

著者名
閻 紀旺,庄司克雄,厨川常元
掲載誌名
誌名日本機械学会論文集(C編) 巻67(号664) 開始ページ3999-4004 (出版年(月日)2001年04月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

On the Ductile Machining of Silicon for Micro Electro-mechanical Systems (MEMS), Opto-electronic and Optical Applications

著者名
J. Yan, M. Yoshino, T. Kuriagawa, T. Shirakashi, K. Syoji and R. Komanduri
掲載誌名
誌名Materials Science and Engineering A 巻297(号1-2) 開始ページ230-234 (出版年(月日)2001年02月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

大きな負のすくい角工具による延性・ぜい性遷移

著者名
閻 紀旺,庄司克雄,厨川常元
掲載誌名
誌名精密工学会誌 巻66(号7) 開始ページ1130-1134 (出版年(月日)2000年07月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Transmission electron microscopic observation of nanoindentations made on ductile-machined silicon wafers

著者名
J. Yan, H. Takahashi, J. Tamaki, X. Gai, and T. Kuriyagawa
掲載誌名
誌名Applied Physics Letters 巻87(号11) 開始ページ211901 (1-3) (出版年(月日)2005年11月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Micro grooving on single-crystal germanium for infrared Fresnel lenses

著者名
J. Yan, K. Maekawa, J. Tamaki and T. Kuriyagawa
掲載誌名
誌名Journal of Micromechanics and Microengineering 巻15(号10) 開始ページ1925-1931 (出版年(月日)2005年10月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Effect of Cutting Edge Truncation on Ground Surface Morphology of Hard and Brittle Materials for Optical Devices

著者名
X. Kang, J. Tamaki, A. Kubo, J. Yan, and T. Iyama
掲載誌名
誌名Key Engineering Materials 開始ページ139-144 (出版年(月日)2005年09月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

光学ガラスの延性モード研削性能に及ぼすダイヤモンド砥粒切れ刃形状の影響-単粒切削実験による臨界切込み深さの測定

著者名
田牧純一,佐藤元,前川公貴,閻 紀旺,久保明彦
掲載誌名
誌名砥粒加工学会誌 巻49(号6) 開始ページ335-340 (出版年(月日)2005年06月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Nanoindentation tests on diamond-machined silicon wafers

著者名
J. Yan, H. Takahashi, J. Tamaki, X. Gai, H. Harada, and J. Patten
掲載誌名
誌名Applied Physics Letters 巻85(号5) 開始ページ181913 (1-3) (出版年(月日)2005年05月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

3軸同時制御による大曲率光学表面の超精密切削加工

著者名
閻 紀旺,佐佐木智之,田牧純一,久保明彦
掲載誌名
誌名砥粒加工学会誌 巻49(号4) 開始ページ205-208 (出版年(月日)2005年04月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Single-Point Diamond Turning of CaF2 for Nanometric Surface

著者名
J. Yan, J. Tamaki, K. Syoji, and T. Kuriyagawa
掲載誌名
誌名International Journal of Advanced Manufacturing Technology 巻24(号9-10) 開始ページ640-646 (出版年(月日)2004年09月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Laser micro-Raman spectroscopy of single-point diamond machined silicon substrates

著者名
J. Yan
掲載誌名
誌名Journal of Applied Physics 巻95(号4) 開始ページ2094-2101 (出版年(月日)2004年04月)
共著区分
単著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Experimental Study on the Ultraprecision Ductile Machinability of Single-Crystal Germanium

著者名
J. Yan, K. Maekawa, J. Tamaki and A. Kubo
掲載誌名
誌名JSME International Journal, Series C 巻47(号1) 開始ページ29-36 (出版年(月日)2004年01月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Improvement of the Crystal Orientation and Surface Roughness of Ru Thin Films by Introducing Oxygen during Sputtering

著者名
Y. Abe, S. Shinkai, K. Sasaki, J. Yan, and K. Maekawa
掲載誌名
誌名Japanese Journal of Applied Physics 巻43(号1) 開始ページ277-280 (出版年(月日)2004年01月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Crystallographic effects in micro/nanomachining of single-crystal calcium fluoride

著者名
J. Yan, K. Syoji and J. Tamaki
掲載誌名
誌名Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 巻22(号1) 開始ページ46-51 (出版年(月日)2004年01月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Chip Formation Behaviour in Ultra-Precision Cutting of Electroless Nickel Plated Mold Substrates

著者名
J. Yan, T. Sasaki, J. Tamaki, A. Kubo, T. Sugino
掲載誌名
誌名Key Engineering Materials 開始ページ3-8 (出版年(月日)2003年11月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Effect of Cutting-Edge Shape on Ductile Regime Grinding of Optical Glass in Single-Grit Diamond Grinding

著者名
J. Tamaki, T. Mahmoud, J. Yan, G. Sato, T. Iyama
掲載誌名
誌名Key Engineering Materials 開始ページ89-94 (出版年(月日)2003年11月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Ductile Regime Machining of Single-Crystal CaF2 for Aspherical Lenses

著者名
J. Yan, J. Tamaki, K. Syoji, T. Kuriyagawa
掲載誌名
誌名Key Engineering Materials 開始ページ95-100 (出版年(月日)2003年11月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

走査型レーザ顕微鏡を用いたダイヤモンド砥粒切れ刃の立体形状の測定

著者名
タマム マハムード,田牧純一,閻 紀旺,鈴木茂人
掲載誌名
誌名砥粒加工学会誌 巻47(号6) 開始ページ314-319 (出版年(月日)2003年06月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Some observations on the wear of diamond tools in ultra-precision cutting of single-crystal silicon

著者名
J. Yan, K. Syoji and J. Tamaki
掲載誌名
誌名Wear 巻255(号712) 開始ページ1380-1387 (出版年(月日)2003年06月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り

Development of a Novel Ductile-Machining System for Fabricating Axisymmetrical Aspherical Surfaces on Brittle Materials

著者名
J. Yan, J. Tamaki, K. Syoji and T. Kuriyagawa
掲載誌名
誌名Key Engineering Materials 開始ページ43-48 (出版年(月日)2002年11月)
共著区分
共著
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
査読有無
有り