論文

トンネル電流を検出する方式のマイクロ部品用形状測定装置を試作し，微細穴の内面形状，段差部分の連続測定を行い，本測定装置の有効性を示した．（５頁）

超精密リニアガイドに使用される精密円筒コロの直径と真円度の高精度測定のために開発したＶブロック法による測定手法の原理，Ｖブロックの開き角の最適値についての解析結果について報告した．（４頁）

粗・微動連動制御機構による表面粗さ測定法に，探針の接触圧を一定に制御する方式を導入し，非導電性材料の表面形状測定を実現した．探針の構成，測定装置の周波数特性等を示すと共に，二，三の表面測定結果を触針式粗さ計により求めた結果と比較してしめした．（５頁）

静圧案内を持つ超精密平面研削盤の開発に関し，砥石軸の回転精度の評価手法，測定結果について報告した．（６頁）

マイクロ部品の形状・寸法計測技術の現状と問題点について解説した．（５頁）

従来の時間測定によるのと全く異なる原理の超音波変位計測手法の測定原理、感度に及ぼす各種パラメータの影響について解析すると共に、原理の検証のための基礎的な実験結果について報告した．（６頁）

リンク機構を使用した工作機械の円運動測定装置の測定原理，測定装置の構成，マシニングセンタを測定対象とした円運動試験結果について述べた．（４頁）

粗・微動連動制御機構式ＳＴＭによる表面形状測定法の原理，測定装置の構成，表面粗さ試験片，段差形状，旋削仕上げ面，フライス加工面などの測定結果について報告した．（４頁）