論文

三井公之，白石利治

高さ方向の測定範囲を拡大するための、粗・微動連動制御機構による表面形状測定法の原理，測定装置の構成，測定結果にいて報告した．（５頁）

圧電素子により駆動される小型尺取り虫型移動機構の構成と基本特性，ならびに２組の移動機構を組み込んだ角度変位機構について述べ，実験により面の傾斜の制御分解能，偏角の範囲を明らかにした．（８頁）

軸端に固定した凹面鏡からの反射光を４分割フォトダイオードにより検出する方式の光学式の回転精度測定法の測定原理、測定感度に及ぼす光学系の各種パラメータの影響について明らかにした．（５頁）

軸端に固定した凹面鏡からの反射光を４分割フォトダイオードにより検出する方式の光学式の回転精度測定法の測定原理、測定感度に及ぼす光学系の各種パラメータの影響について明らかにした．（４頁）

従来の時間測定によるのと全く異なる原理の超音波変位計測手法の測定原理、感度に及ぼす各種パラメータの影響について解析すると共に、原理の検証のための基礎的な実験結果について報告した．（６頁）

圧電素子により駆動される小形リニアアクチェータの構成、動作実験結果について述べた．（４頁）

従来の時間測定によるのと全く異なる原理の超音波変位計測手法の測定原理、感度に及ぼす各種パラメータの影響について解析すると共に、原理の検証のための基礎的な実験結果について述べた．（４頁）

長焦点深度の光学顕微鏡観察を可能とするため、対物レンズと観察試料の間の距離を変えて撮像した複数枚の画像の解析結果から全体的にピントのあった画像を合成する手法について報告した．（５頁）

長焦点深度の光学顕微鏡観察を可能とするため、対物レンズと観察試料の間の距離を変えて撮像した複数枚の画像の解析結果から全体的にピントのあった画像を合成する手法について報告した．（４頁）

光学方式の回転精度測定法の測定原理、測定光学系の構成、転がり軸受を持つ軸の回転精度測定への適用結果について述べた．（１２頁）

きさげ加工の自動化を図るために必要なすりあわせ面の当たりの画像処理による認識手法について述べた．（７頁）

きさげ加工の自動化を図るために必要なすりあわせ面の当たりの計算機画像処理による認識について述べた．（７頁）

レーザ干渉計を用いた主軸回転精度測定装置の構成、平面研削盤を例にした測定結果について報告した．（７頁）

３点法主軸回転精度測定法の応用による超精密旋盤の主軸のラジアル、アキシャル及びチルトモーションの測定結果について述べた．（６頁）

研削盤の砥石車の精密釣り合い調整を機上にて行うことのできる手法を開発し、測定原理，測定装置の構成，測定精度等の基本特性を明らかにすると共に，実験の結果についても報告した．（６頁）

レーザ干渉計を用いた主軸回転精度測定装置の構成、平面研削盤を例にした測定結果について述べた．（７頁）

超精密加工の新しい手法として提案した加工面基準制御切削法の原理、装置の構成について述べた．（６頁）

超精密加工の新しい手法として提案した加工面基準制御切削法の原理、装置の構成について述べた．（６頁）

非点収差法による光学的表面粗さ測定法を開発し、その原理、測定装置の構成、測定結果について述べた．（５頁）