著書
真壁 利明
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Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication (3rd edition)
- 著者名
- Toshiaki Makabe and Zoran Petrovic
- 出版社
- CRC Press (Boca, London, New York)
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
プラズマエレクトロニクス
- 著者名
- 真壁 利明
- 出版社
- 培風館
- 担当区分
- 単著
- 著書種別
- 学術書
Gaseous Electronics and Its Applications
- 著者名
- R. W. Crompton, T. Makabe, et al.
- 出版社
- Kluwer Academic Pub. (Dordrecht, Holland)
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
理工学基礎・確率過程
- 著者名
- 中川正雄，真壁 利明
- 出版社
- 培風館
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication (2nd edition)
- 著者名
- Toshiaki Makabe and Zoran Petrovic
- 出版社
- CRC Press (Boca, London, New York)
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication
- 著者名
- Toshiaki Makabe and Zoran Petrovic
- 出版社
- Taylor & Francis (New York, London)
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
Advannces in Low Temperature rf-Plasmas: Basis for process design
- 著者名
- Toshiaki Makabe, Edited
- 出版社
- Elsevier (Amsterdam)
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
電子情報通信ハンドブック
- 著者名
- 真壁 利明（分担）
- 出版社
- オーム社
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
放電ハンドブック
- 著者名
- 真壁 利明（分担）
- 出版社
- オーム社
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
応用物理用語大辞典
- 著者名
- 真壁 利明（分担）
- 出版社
- オーム社
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
フリーラジカルの科学
- 著者名
- 真壁 利明（分担）
- 出版社
- 学会出版センター
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
集積回路プロセス技術シリーズ半導体ドライエッチング技術
- 著者名
- 真壁 利明（分担）
- 出版社
- 産業図書
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
プラズマ材料科学ハンドブック
- 著者名
- 真壁 利明（分担）
- 出版社
- オーム社
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書
確率過程
- 著者名
- 真壁 利明，中川 正雄
- 出版社
- 培風館
- 担当区分
- 共著
- 著書種別
- 学術書