フォトリソグラフィプロセスで微細パターンと力センサを作ってみた【VOICEVOX解説】

MEMSプロセスの一つであるフォトリソグラフィを用いて、微細なパターンを作ってみました。

製作した微細パターンとカメラを用いた変位計測手法であるサンプリングモアレ法を活用して、簡易的な力センサを作ってみました。

音声

VOICEVOX: 冥鳴ひまり

音楽：BGMer

http://bgmer.net

イラスト：OKUMONO

https://sozaino.site/kiyaku

イラスト：いらすとや

https://www.irasutoya.com/

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高橋研究室HP

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