松本研究室 - 集積回路技術

松本佳宣研究室では、集積化マイクロシステムの研究を行っています。

集積化マイクロシステムは、人間の五感に相当するセンシング部品と神経・頭脳に相当するシリコン集積回路を数cm角に集積化したシステムです。

センサをつくるためには、ミクロン程度の精度で微細加工するリソグラフィー技術が必要であり、研究室内にマスク製造装置、露光装置を整備して学生が自分のアイデアをすぐに実現して評価できる環境が整っています。

集積回路に関しては、サブミクロンCMOS集積回路の設計をしており、外部ファウンダリーで試作した後、評価を行っています。