共同研究・競争的資金等の研究課題

リモート式大気圧プラズマ法による硬質シリカ系薄膜の合成と物性解析

提供機関

：文部科学省・日本学術振興会

制度名

：科学研究費助成事業

研究機関

：文部科学省・日本学術振興会

担当区分

：研究代表者

研究者

：鈴木 哲也

研究種目

：基盤研究(C)

研究費種別

：補助金